四端硅压力传感器的解析模型

作     者：丁浩 樊进 尹燕 洪琪 柯导明 陈军宁 

作者机构：安徽大学电子科学与技术学院安徽合肥230039 中国科学技术大学电子工程和信息科学系安徽合肥230027 

基　　金：国家863计划基金资助项目(2003AA1Z1400) 安徽省自然科学基金资助项目(01042104) 

出 版 物：《安徽大学学报（自然科学版）》 (Journal of Anhui University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2004年第28卷第5期

页      码：51-55页

摘      要：利用正则摄动法,采用合理的边界条件,求解四端硅压力传感器二维电势的偏微分方程,得出了该传感器二维电势的解析表达式;并由此导出了随应力而变的最大输出电压的解析表达式,且给出了输出电压与器件尺寸的精确关系。该模型物理意义明确,参数提取方便,其计算结果与数值解、实验数据较好吻合,可以很方便地进行器件设计和模拟。

主 题 词：四端硅压力传感器 解析模型 正则摄动法 解析表达式 输出电压 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-2162.2004.05.012

馆 藏 号：203546903...