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DDI法测薄膜光学常数

DDI法测薄膜光学常数

作     者:谷晋骐 郑永星 Gu Jinqi;Zheng Yongxing (Department of Applied Physics,Tianjin University,Tianjin 300072)

作者机构:天津大学应用物理系 

出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期:1996年第23卷第10期

页      码:915-919页

摘      要:双光束双波长激光干涉(DDI)法采用自行设计的可调双波长氦氖激光器作光源,可在同一光路中通过两次测量获得薄膜样品两个波长(0.633μm,3.39μm)下的光学常数,即折射率、消光系数和厚度。论述了测量原理、测量装置和测量结果。

主 题 词:薄膜 光学常数 测量 DDI法 

学科分类:08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录:

馆 藏 号:203547694...

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