LIGA实验站的设计及应用

作     者：田扬超 刘刚 洪义麟 郭育华 熊瑛 阚娅 TIAN Yang-chao;LIU Gang;HONG Yi-lin;GUO Yu-hua;XIONG Ying;KAN Ya

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 

基　　金：国家大科学工程(NSRL二期工程)资助 

出 版 物：《中国科学技术大学学报》 (JUSTC)

年 卷 期：2007年第37卷第4期

页      码：387-391页

摘      要：介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.

主 题 词：同步辐射 LIGA 深度光刻 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0253-2778.2007.04.010

馆 藏 号：203547827...