高纯气体输送系统的设计施工及管理

作     者：历福斌 

出 版 物：《洁净与空调技术》 (Contamination Control & Air-Conditioning Technology)

年 卷 期：1994年第1期

页      码：23-29页

摘      要：高纯气体的输送系统应该包括制造厂的充灌装置,贮存容器(钢瓶或贮槽),运输槽车,直到使用单位贮存设备、传输管道系统直到炉前管路,亦即凡与高纯气体相接触的一切设备、管路、仪表、阀门等。

主 题 词：气体输送 配管 传输管道 贮存容器 设计压力 贮槽 气密性试验 使用单位 空分装置 供气方式 

学科分类：08[工学] 081402[081402] 0814[工学-地质类] 

馆 藏 号：203549744...