多晶硅生产中废气处理工艺设计

作     者：许红霞 Xu Hongxia

作者机构：乌海职业技术学院内蒙古乌海016000 

出 版 物：《轻金属》 (Light Metals)

年 卷 期：2013年第4期

页      码：71-73页

摘      要：多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析了多数企业在多晶硅生产过程中废气和残液的处理过程及缺点,指出了一种废气处理的新工艺。

主 题 词：多晶硅 废气 处理 工艺设计 

学科分类：083002[083002] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1752.2013.04.019

馆 藏 号：203550371...