基于聚焦离子束的纳米加工技术及进展

作     者：房丰洲 徐宗伟 FANG Fengzhou;XU Zongwei

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心天津300072 

出 版 物：《黑龙江科技学院学报》 (Journal of Heilongjiang Institute of Science and Technology)

年 卷 期：2013年第23卷第3期

页      码：211-221页

摘      要：随着纳米科技的不断发展,核心功能器件的纳米制造作为相关设计与应用研究的桥梁和基础,其研究价值的重要性日益凸显。聚焦离子束(Focused ion beam,FIB)加工是面向纳米尺度制造的一项重要技术。在概述FIB工作原理的同时,介绍FIB纳米加工方法与关键工艺的发展状况,就溅射产额、再沉积和FIB纳米直写方法等展开讨论。并介绍FIB纳米加工技术在纳米功能器件制造和基础研究等领域的典型应用。对其未来的发展从装备和机理研究的角度进行了展望。

主 题 词：聚焦离子束 纳米制造 先进制造 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-0118.2013.03.001

馆 藏 号：203550518...