投影光刻物镜的计算机辅助装调

作     者：赵菲菲 唐剑宇 黄玮 许伟才 Zhao Feifei;Tang Jianyu;Huang Wei;Xu Weicai

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 常州市瑞得仪器有限公司江苏常州213000 

基　　金：国家重大专项基金(2009ZX02205) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2014年第34卷第6期

页      码：198-203页

摘      要：针对投影光刻物镜苛刻的像质要求，将计算机辅助装调（CAA）技术引人投影光刻物镜的装调过程中，建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4～37项，以及畸变作为校正对象，并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODEV的宏功能和Matlab结合，采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量，通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比，发现相比于设计镜头，装调后镜头的平均波前均方根（RMS）大约差0．004λ，平均畸变大约差1nm，该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。

主 题 词：光学设计 计算机辅助装调 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 081203[081203] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0835[0835] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201434.0622001

馆 藏 号：203550867...