椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理

作     者：王洪涛 WANG Hong tao (Department of Materials Science, Sichuan University, Chengdu,610064)

作者机构：四川大学材料科学系成都610064 

出 版 物：《物理实验》 (Physics Experimentation)

年 卷 期：2001年第21卷第7期

页      码：8-11,17页

摘      要：利用实时作图的方法 ,开发设计了椭偏仪数据处理应用程序 .该程序不但具有传统查图法简便直观的特点 ,而且不限制实验条件的选择 ,能够满足科学研究和实验教学的要求 .利用该程序和多入射角测量方法 。

主 题 词：椭圆偏振 测量 椭偏仪 计算机数据处理 薄膜材料 光学参量 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.19655/j.cnki.1005-4642.2001.07.003

馆 藏 号：203550949...