利用LIGA技术研制超微步进电机

作     者：伊福廷 彭良强 张菊芳 韩勇 

作者机构：中国科学院高能物理研究所，北京100039 

出 版 物：《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 (北京同步辐射装置（英文版）)

年 卷 期：2001年第2期

页      码：93-95页

摘      要：文章慨述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成．线圈由手工在显微镑下绕制完成，转子直径2mm．整个电机直径5mm。

主 题 词：LIGA 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 研制 光刻 电铸 塑铸 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

馆 藏 号：203552036...