基于飞蛾触角的仿生MEMS导航传感器的设计与仿真

作     者：唐军 刘尧 刘俊 郭浩 石云波 张贺 温涣飞 赵锐 TANG Jun;LIU Yao;LIU Jun;GUO Hao;SHI Yunbo;ZHANG He;WEN Huanfei;ZHAO Rui

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 

基　　金：国家973子课题项目(2012CB723404) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2012年第25卷第5期

页      码：561-565页

摘      要：以飞蛾触角导航为仿生依据,通过建立其导航数学模型,利用MATLAB对该模型的导航原理进行仿真分析,结合仿生学,设计了一种新型MEMS三维角速度传感器模型,并对该传感器的加工工艺进行了设计,该传感器主要由折叠梁和坡莫合金棒组成,通过ANSYS分析,在9 V驱动电压的作用下,合金棒沿X、Y的振动幅度可达到80μm,通过理论计算,由偏航角速度产生的哥氏力为0.908×10-8N/(°·s-1),由翻滚和俯仰角速度产生的哥氏力为0.18×10-9N/(°·s-1)。

主 题 词：仿生MEMS 三维角速度传感器 有限元分析 飞蛾触角 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2012.05.001

馆 藏 号：203555566...