双闭环控制的生物芯片点样仪

作     者：闫献勇 李建国 吴岚军 

作者机构：中国科学院电工研究所北京100083 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2004年第33卷第6期

页      码：67-68,71页

摘      要：在高定位精度的运动系统中,光栅尺做为位置反馈元件大量使用。本点样仪选用Galil公司的DMC1800控制卡、松下交流伺服电机、雷尼绍光栅尺和贝塞德运动单元,定位精度可以满足设计要求。控制软件采用VB编写。

主 题 词：闭环控制 光栅尺 点样仪 

学科分类：083002[083002] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 09[农学] 0804[工学-材料学] 0903[农学-动物生产类] 0816[工学-纺织类] 081602[081602] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2004.06.016

馆 藏 号：203555706...