一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化

作     者：耿玉洁 曲炳郡 叶启 GENG Yujie;QU Bingjun?;YE Qi

作者机构：清华大学微电子学研究所北京100084 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2015年第38卷第1期

页      码：49-53页

摘      要：利用HFSS仿真软件对一种基于电感耦合的新型磁芯螺线管微电感进行设计,并优化得出其结构参数,该电感尺寸为7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射频阻抗/材料分析仪对微机电系统(MEMS)工艺实现的该新型螺线管微电感进行了性能测试分析。测试结果表明:该电感在1 MHz^20 MHz频率范围内保持较高的电感值和品质因数Q,测试结果与仿真结果较好的吻合,电感值是相同几何结构参数下空心电感的16倍以上,在10 MHz频率时,微电感的电感值为1.17μH,Q值达到50。

主 题 词：MEMS 磁芯 螺线管微电感 Q值 HFSS 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2015.01.011

馆 藏 号：203555818...