复合双频光栅轮廓术研究

作     者：乔闹生 赵华君 蔡新华 彭建英 QIAO Nao-sheng;ZHAO Hua-jun;CAI Xin-hua;PENG Jian-ying

作者机构：湖南文理学院物理与电子科学系湖南常德415000 重庆文理学院物理与信息工程系重庆402168 

基　　金：湖南省教育厅科研资助项目(06C608) 湖南省“十一五”重点建设学科光学基金资助项目 湖南文理学院科研重点资助项目(JJZD0702) 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2008年第19卷第1期

页      码：74-77页

摘      要：对于存在突变的不连续物体的测量,使用低频光栅时物体面形能够恢复,但测量精度不高;使用高频光栅时不连续部分的轮廓细节能够清晰的恢复,但存在相位包裹现象而出现截断相位。据此,提出将2种光栅的优点融和在一起的方法:首先设计适合的低频光栅在物体的突变部分产生一根条纹,使低频光栅产生的相位不需进行相位展开;然后由2种光栅的频率比值及高频的截断相位来确定高频光栅所产生的条纹的整数级数n2(x,y);最后求出高频的展开相位,从而高精度地恢复不连续物体的高度信息。计算机仿真结果表明了理论分析的正确性。

主 题 词：双频光栅 傅里叶变换轮廓术 相位展开 测量精度 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1005-0086.2008.01.019

馆 藏 号：203555955...