微机电系统的发展

作     者：刘军营 楮金奎 朱向荣 韩光平 

作者机构：山东理工大学机械工程学院山东淄博255049 西安理工大学陕西西安710048 淄博市临淄热力公司山东淄博255400 

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助 (5 0 13 5 0 40 ) 

出 版 物：《山东理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Shandong University of Technology:Natural Science Edition)

年 卷 期：2003年第17卷第1期

页      码：107-110页

摘      要：始于 2 0世纪 60年代的微机电系统 (MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是 2 1世纪的核心技术之一 .介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件。

主 题 词：微机电系统 微电子学 精密机械加工 微器件 微结构设计 MEMS 制造工艺 系统种类 

学科分类：080903[080903] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6197.2003.01.023

馆 藏 号：203557180...