光学读出室温物体红外成像

作     者：郭哲颖 张青川 陈大鹏 伍小平 董凤良 缪正宇 熊志铭 李超波 GUO Zhe-Ying;ZHANG Qing-Chuan;CHEN Da-peng;WU Xiao-Ping;DONG Feng-liang;MIAO Zhen-Yu;Xiong Zhi-Ming;Li Chao-Bo

作者机构：中国科学技术大学 中科院微电子研究所北京100029 

基　　金：国家自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)资助项目 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2005年第20卷第2期

页      码：213-218页

摘      要：光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm)。用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像。该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K。

主 题 词：微悬臂梁 红外成像 光学读出 光电效应 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-4888.2005.02.009

馆 藏 号：203557436...