光栅刻划机金刚石刀具抬落机构控制系统

作     者：宋莹 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 

出 版 物：《微计算机信息》 (Control & Automation)

年 卷 期：2011年第27卷第11期

页      码：34-36页

摘      要：为了改善传统机械式光栅刻划机的刻划性能,提出了一种新型光栅刻划机金刚石刀具抬落机构。介绍了光栅刻划机及抬落刀机构结构组成,并根据需求分析选用压电陶瓷平台作为执行器件。搭建了一套抬落刀控制系统并完成硬件设计,针对光栅刻划工艺需求,设计抬落刀控制系统软件。系统采用总线通信方式,制定串口通信协议。结果表明,该新型机构机械结构简单、可实时控制、精度高、无振动和发热,提高了刻划光栅的质量和刻划效率。为了改善传统机械式光栅刻划机的刻划性能,提出了一种新型光栅刻划机金刚石刀具抬落机构。介绍了光栅刻划机及抬落刀机构结构组成,并根据需求分析选用压电陶瓷平台作为执行器件。搭建了一套抬落刀控制系统并完成硬件设计,针对光栅刻划工艺需求,设计抬落刀控制系统软件。系统采用总线通信方式,制定串口通信协议。结果表明,该新型机构机械结构简单、可实时控制、精度高、无振动和发热,提高了刻划光栅的质量和刻划效率。

主 题 词：光栅刻划机 抬落刀机构 压电陶瓷平台 串口通信光栅刻划机 抬落刀机构 压电陶瓷平台 串口通信 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

馆 藏 号：203557574...