微型机电继电器研究进展

作     者：张东梅 丁桂甫 姜政 

作者机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140) 信息产业部电子科学研究院基金资助项目(0241308050116) 

出 版 物：《电子产品世界》 (Electronic Engineering & Product World)

年 卷 期：2005年第12卷第3A期

页      码：112-114,122页

摘      要：微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的优势和缺点。

主 题 词：机电继电器 微型机 MEMS 微型化 系统 设计 新途径 制造技术 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-5517.2005.05.026

馆 藏 号：203562461...