基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

作     者：赵继德 李应良 马传龙 ZHAO Ji-de;LI Ying- liang;MA Chuan-long

作者机构：烟台师范学院物理与电子工程学院山东烟台264025 华信邮电咨询设计研究院有限公司杭州310014 重庆通信学院重庆400014 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2005年第30卷第8期

页      码：34-37页

摘      要：应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz的MEMS带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用。

主 题 词：射频微机电系统 滤波器 共面波导 阻带 微尺度效应 

学科分类：080903[080903] 080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2005.08.010

馆 藏 号：203562587...