高精度电容式位移传感器关键技术的研究

作     者：师树恒 王斌 朱健强 SHI Shu-heng;WANG Bin;ZHU Jian-qiang

作者机构：中国科学院上海光学精密机械所联合实验室上海201800 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2007年第7期

页      码：1-2,80页

摘      要：研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范围为±5-±40μm，测量分辨率〈10nm，测量精度〈20nm．

主 题 词：电容 位移传感器 激励电路 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2007.07.001

馆 藏 号：203563249...