基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析

作     者：张洁 黄尚廉 张智海 孙吉勇 史玲娜 ZHANG Jie;HUANG Shang-lian;ZHANG Zhi-hai;SUN Ji-yong;SHI Ling-na

作者机构：重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030 

基　　金：国家自然科学基金(60578023) 重庆市院士基金(8883)资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2007年第36卷第12期

页      码：2314-2318页

摘      要：依据傅里叶光学理论,采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理,分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况,实现了对光能量的调制.分析表明:当滤出±1级谱时,像面上可以得到完全均匀的暗场;但是由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的亮场;当滤出零频谱时,由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的暗场和亮场.设计时,为了要在像面上得到更高的亮度均匀性,需要满足可动光栅栅条宽度为光栅周期的一半,同时应尽量减少悬臂梁和边框的宽度.

主 题 词：衍射 光栅 傅里叶光学 光栅平动式光调制器 信号处理 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203563332...