光重心法在多线阵CCD检测系统中的应用

作     者：郭晓军 顾永刚 邢晓正 GUO Xiao-jun;GU Yong-gang;XING Xiao-zheng

作者机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230027 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2008年第3期

页      码：73-75页

摘      要：介绍了极坐标下用多个线阵CCD对多目标位置检测系统的稳定性情况及系统的搭建。试验系统主要包括如下几个部分:控制主机,多个线阵CCD,精密旋转台,扫描梁,旋转平台,积分球光源以及自行设计的数据处理程序。采用"光重心法"对光斑信号进行处理。进行的实验测试表明在步距0.05mm时,动态和静态标准差分别为0.58μm和0.32μm,系统稳定性理想。实验结果证明由重心法得到的信号位置具有稳定性好等特点。

主 题 词：线阵CCD 光重心法 扫描梁 动态稳定性 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2008.03.031

馆 藏 号：203563418...