激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用

作     者：王宏杰 王亚楠 彭建强 吕福云 杜永超 刘建生 孙彦铮 WANG Hong-jie;WANG Ya-nan;PENG Jian-qiang;LU Fu-yun;DU Yong-chao;LIU Jian-sheng;SUN Yan-zheng

作者机构：南开大学物理科学学院光电信息系天津300071 中国电子科技集团公司第十八研究所天津300381 

基　　金：南开大学本科创新科研“百项工程”基金资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2008年第37卷第11期

页      码：2137-2140页

摘      要：依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100±10μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平.

主 题 词：高亮度激光 硅太阳电池 对称式抽运 转换效率 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203563612...