视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制

作     者：邢玉梅 惠春 李刚 赵建龙 XING Yu-mei;HUI Chun;LI Gang;ZHAO Jian-long

作者机构：上海交通大学生命科学技术学院上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海大学纳微能源研究所上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 

基　　金：国家重点基础研究发展计划"973"资助项目(2005CB724305 2005CB724302) 中国博士后科学基金资助项目(20070410724) 上海市纳米专项(0852nm01700) 上海市科委国际合作专项(8160706000) 科技部国际合作项目(2009DFB60160) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2010年第8卷第1期

页      码：25-30页

摘      要：采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280μm,引线间距为80μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电极和引线表面均平整光滑,轮廓清晰,结构完好.阻抗测试结果表明:随着频率的增加,凸起微电极的阻抗呈下降趋势,显示出明显的高通特性;1 kHz时凸起微电极的阻抗约为10 kΩ,较具有相同基底面积的平面电极约低30%,有助于提高电极的信噪比,可望用于视网膜前假体中.柔性凸起微电极制作工艺简单,利于高效率批量制作并提高微电极的集成度.

主 题 词：视觉修复 视网膜假体 神经刺激 柔性微电极 微细加工 

学科分类：0831[工学-公安技术类] 0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0836[0836] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.006

馆 藏 号：203564187...