特种气体用阀门及配套件

作     者：蒋仲先 

作者机构：光明化工研究设计院 

出 版 物：《阀门》 (VALVE MAGAZINE)

年 卷 期：1998年第4期

页      码：32-33页

摘      要：￥光明化工研究设计院＠蒋仲先１问题提出具有各种特殊性能要求的气体，如电子气、石油化工气和标准气等在国民经济各个行业有着广泛的用途，这些气体的开发研制是确保和推进高科技发展的重要组成部分。以集成电路用气（电子气）为例，目前国际上集成度已达２５６Ｋ（１Ｋ表示１...

主 题 词：阀门 特气阀 配套件 特种气体 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.16630/j.cnki.1002-5855.1998.04.012

馆 藏 号：203564225...