从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法

作     者：罗震岳 薛晖 张淑娜 沈伟东 顾培夫 章岳光 

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金(60708013 60608014)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2010年第30卷第6期

页      码：1835-1840页

摘      要：设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到光学薄膜的相位。通过数值模拟的方式论证了理论上的可行性和高计算精度。采用多变量优化的手段进行处理实际测试的一组单层TiO2薄膜,所得物理厚度值与传统的光度法测试反演结果非常吻合。该测试系统和处理算法为快速精确测量光学薄膜厚度提供了一种新的解决方案。

主 题 词：光学薄膜 白光干涉术 反射相位 频域分析 优化理论 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20103006.1835

馆 藏 号：203564346...