超宽截止边带滤光片研究

作     者：朱华新 王彤彤 高劲松 刘桂林 李帅 ZHU Hua-xin;WANG Tong-tong;GAO Jin-song;LIU Gui-lin;LI Shuai

作者机构：江南大学理学院无锡214122 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室长春130033 江南大学物联网工程学院无锡214122 

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助(JUSRP211A19) 江南大学博士基金资助(JUDCF13039) 江苏省创新工程(CXZZ13_0742) 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2013年第42卷第12期

页      码：2701-2706页

摘      要：以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片,即:截止带波长0.5～0.85μm、高透波长0.9～1.3μm,膜层总数为57层,总厚度达6.026μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明截止区(0.5～0.85μm)的截止深度达5×10-3以下,截止带宽达350 nm,0.9～1.3μm通带内的平均透过率也达到83.14%,除通带短波边缘外,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽截止带深截止度、高通带透过率的特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该边带滤光片可以应用于可靠性要求较高的环境中。

主 题 词：光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2013.12.005

馆 藏 号：203566014...