大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用

作     者：刘丁 

作者机构：西安理工大学 晶体生长设备及系统成国家地方联合工程研究中心 

出 版 物：《科技纵览》 (IEEE Spectrum)

年 卷 期：2014年第11期

页      码：74-75页

摘      要：西安理工大学在国家科技重大专项、国家863计划等项目支持下，针对极大规模集成电路用硅单晶生长中关键变量的检测与处理、杂质含量与徽缺陷抑制、生长工艺与控制方法、整机优化设计与制造等核心技术问题，研制成功中国首台极大规模集成电路用300毫米硅单晶炉并形成系列产品，整体性能达到国际先进水平。

主 题 词：单晶炉 技术 电子级 大尺寸 国家863计划 大规模集成 应用 硅 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

馆 藏 号：203566559...