一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化

作     者：侯帅 张振海 林然 张东红 李科杰 柳新宇 张亮 李治清 李剑 许涛 何昫 史秀峰 

作者机构：北京理工大学机电学院北京100081 合肥市新星应用技术研究所合肥230031 

基　　金：国防基础科研项目(C××2011××03 A××2011××05 A××2013××10) 国家自然科学基金面上项目(61273346) 教育部博士点基金(20121101120009) 北京理工大学"优青资助计划"项目(2012YG0203) 基础研究基金项目(2014CX02031和2015CX×××××) 

出 版 物：《计算机测量与控制》 (Computer Measurement &Control)

年 卷 期：2015年第23卷第5期

页      码：1831-1834页

摘      要：基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片厚度与中心岛厚度进行多次设计与仿真,通过多组仿真数据对传感器的结构尺寸进行优化;高冲击实验验证表明,优化的传感器结构尺寸、性能指标能够满足设计要求,冲击灵敏度较高。

主 题 词：高冲击 加速度传感器 MEMS 有限元 尺寸优化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2015.05.113

馆 藏 号：203566711...