纳米时栅传感器高精度激励信号源研究与设计

作     者：黄沛 郑方燕 冯济琴 陈自然 HUANG Pei;ZHENG Fangyan;FENG Jiqin;CHEN Ziran

作者机构：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室重庆400054 

基　　金：重庆市科委前沿与应用基础研究项目(cstc2014jcyj A70002 cstc2013jcyj A70007) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2015年第28卷第7期

页      码：977-981页

摘      要：纳米时栅利用正交变化电场构建的运动参考系进行测量,激励信号精度直接影响运动参考系匀速性,进而影响测量精度。针对纳米时栅需要高精度激励信号的要求,设计了一种采用闭环控制结构的高精度激励信号源,该信号源采用单片FPGA实现总体控制,完成采集控制、数据处理和波形数据产生等功能,利用16位高精度数据转换器构建信号发生电路及反馈电路,保证了对信号的精确控制。测试结果表明:输出正弦信号幅值精度为0.01%,相位精度为0.1%,并将纳米时栅原始精度从1.4μm提高至0.9μm。

主 题 词：纳米测量 时栅 闭环控制 FPGA 信号源 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2015.07.006

馆 藏 号：203566854...