亚波长多台阶结构大角度激光分束器设计

作     者：陈琪 李国俊 方亮 周崇喜 Chen Qi;Li Guojun;Fang Liang;Zhou Chongxi

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金(61575200) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2016年第43卷第2期

页      码：167-173页

摘      要：分束角度是衍射型激光分束器件重要性能指标之一。目前对大角度衍射分束元件的研究局限于Dammann光栅,Dammann光栅依靠周期内相位突变点对入射光波进行调制,其分束均匀性对突变点精度非常敏感,现有加工技术无法满足设计精度的要求。针对这一问题,提出利用亚波长多台阶结构来实现大角度的激光分束,给出了一个1×16,入射光波长1.55μm,衍射角29°的16台阶亚波长分束光栅设计实例。设计时利用标量理论获得一个多台阶结构作为初值,经严格耦合波理论结合遗传算法进行矢量优化后衍射效率达到89%,均匀性误差为4.53%。结果表明,亚波长多台阶结构能够实现大角度、高衍射效率以及高均匀性的激光分束。

主 题 词：光栅 亚波长 多台阶结构 大角度激光分束 严格耦合波理论 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201643.0205006

馆 藏 号：203567009...