基于碳纳米材料的柔性薄膜器件研究

作     者：黄振龙 张尚杰 潘泰松 颜卓程 廖非易 高敏 张虎林 张胤 林媛 

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(编号:2015CB351905) 国家自然科学基金(批准号:61306015,11329402)资助项目 

出 版 物：《中国科学：物理学、力学、天文学》 (Scientia Sinica Physica,Mechanica & Astronomica)

年 卷 期：2016年第46卷第4期

页      码：46-55页

摘      要：近年来,可穿戴或贴合式的传感器在实时生理监测、特殊环境信号检测等领域的需求日益凸显,柔性传感器成为当前研究的热点.碳纳米管(CNT),由于其独特的电学和力学性能,在新型电子器件的发展中扮演着越来越重要的角色.本文介绍了几类典型的基于碳纳米管的柔性红外传感器和微压力传感器.在柔性红外传感器的研制中,利用碳纳米管与SiO_2的界面以及不同掺杂的CNT形成的p-n结,设计和制备了两种不同类型的高灵敏度柔性红外传感器,实验结果证明界面载流子行为对传感器的响应速度有重要的影响.另一方面,利用碳纳米管的优秀导电性,设计和制备了两种力传感器.通过银纳米颗粒修饰的碳纳米管制备的柔性拉力传感器,兼具高拉伸度和高灵敏度,具有优秀的应变系数.此外,利用碳纳米管和三棱锥的微结构制备了响应灵敏的微压力传感器,具有优秀的响应幅度与响应速度.

主 题 词：碳纳米管 柔性器件 红外传感器 力传感器 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0704[理学-天文学类] 070301[070301] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.1360/SSPMA2015-00546

馆 藏 号：203567060...