新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制

作     者：贾书海 李以贵 杨春生 赵小林 丁桂甫 张琛 蔡炳初 

作者机构：上海交通大学微纳米科学与技术研究院上海市200030 

基　　金：中国博士后科学基金资助项目(B3180A) 上海市光科技启动计划资助项目(012261012) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2003年第14卷第12期

页      码：1004-1006页

摘      要：设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。

主 题 词：微机电系统 微电磁驱动器 微细加工 光开关 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2003.12.005

馆 藏 号：203567416...