光刻机工件台位移测量系统的设计与实现

作     者：雷兴华 谭永红 李若愚 谢扬球 LEI Xing-hua;TAN Yong-hong;LI Ruo-yu;XIE Yang-qiu

作者机构：桂林电子工业学院智能系统与工业控制研究室广西桂林541004 

基　　金：国家自然科学基金 广西自然科学基金 

出 版 物：《桂林电子工业学院学报》 (Journal of Guilin Institute of Electronic Technology)

年 卷 期：2005年第25卷第3期

页      码：60-63页

摘      要：根据所设计光刻机工件台的定位精度要求,选取Renishaw RGH25F直线位移测量光栅作为其位置检测传感器,在此基础上完成了面向TMS320LF2407A DSP接口的工件台位移测量系统的软、硬件设计.实际运行中该测量系统工作稳定、可靠,而且系统还具有重复测量精度高、测量稳定性好和成本相对低廉等优点.

主 题 词：工件台 位移测量 光栅 DSP 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-808X.2005.03.014

馆 藏 号：203571426...