激光点阵光刻机控制系统的硬件设计

作     者：殷庆纵 刘吉 YIN Qingzong;LIU Ji

作者机构：苏州工业职业技术学院电子工程系江苏苏州215104 苏州印象镭射有限公司江苏苏州215004 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2013年第41卷第2期

页      码：109-112页

摘      要：为了制作大尺寸的激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工业控制计算机为上位机,以ARMLPC2138和单片机STC12C5410AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。动态曝光的工作方式,克服了传统光刻机工作速度慢的静态曝光工作模式,使光刻工作速度提高了10～12倍,解决了大尺寸防伪商标制作困难的问题,有效提高了全息母板制作的效率。

主 题 词：激光直写 直线电动机 光刻 光栅 ARM LPC2138 单片机 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3881.2013.02.038

馆 藏 号：203571773...