基于均匀设计方法的热板研究

作     者：王靖震 刘伟军 WANG Jing-zhen;LIU Wei-jun

作者机构：中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016 中国科学院研究生院北京100049 

基　　金：国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺资助项目(2009ZX02008-003) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2012年第5期

页      码：121-123页

摘      要：光刻工艺中对热板表面的温度场均匀性有着极高的要求。在热板设计参数的选择问题上,通过使用均匀实验设计的方法,从均匀分散性的角度出发挑选代表点,并对这些代表点应用ANSYS仿真模拟软件进行分析,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据。然后对代表点的仿真结果数据进行回归建模。经过验证,回归模型计算结果与仿真结果有较高的一致性。根据所得到的回归模型,热板设计人员可以方便的了解不同设计参数取值情况下的热板表面温度的均匀性,并更好的做出选择。

主 题 词：热板 温度场 回归模型 均匀设计 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2012.05.045

馆 藏 号：203571945...