微电子洁净厂房的设计分析

作     者：林喜云 Lin Xiyun

作者机构：上海现代建筑设计集团工程建设咨询有限公司上海200041 

出 版 物：《制冷与空调（四川）》 (Refrigeration and Air Conditioning)

年 卷 期：2019年第33卷第1期

页      码：25-29页

摘      要：针对某微电子工业厂房项目工程,分析电子工业洁净厂房的净化空调系统设计,以及防排烟系统的设计。同时根据电子洁净厂房工艺设备的参数,简述气体动力系统设计。

主 题 词：洁净厂房 微电子工业 

学科分类：08[工学] 0823[工学-农业工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-6612.2019.01.006

馆 藏 号：203572288...