基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作

作     者：李以贵 杉山进 LI Yi-gui;SUGIYAMA Susumu

作者机构：上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 立命馆大学微系统系 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60777016) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第7卷第1期

页      码：81-84页

摘      要：提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微针阵列的微细加工工艺，即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图，再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构．为了解决空心微针阵列的加工问题，通过对准曝光实现空心孔的微细加工．用此纳米加工技术获得了高度为350～700μm、针锋尖锐度为1μm的PMMA的微针阵列．该阵列面积约为1cm^2，微针数约为900根，实验结果表明，利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分又微针等各种微针．该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体，实现无痛化注射或无痛化采血。

主 题 词：无痛化注射 微针阵列 移动LIGA 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2009.01.017

馆 藏 号：203572382...