基于非牛顿流体新型液浮法抛光技术研究

作     者：秦琳 弥谦 李宏 QIN Lin;MI Qian;LI Hong

作者机构：西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心西安710021 

基　　金：装备发展部共用技术项目(41423020111) 陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031) 陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS052) 陕西省科技厅重点研发计划项目 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2019年第40卷第2期

页      码：223-228页

摘      要：提出一种新的柔性抛光技术——液浮法抛光,通过软件仿真及实验对其进行探索性研究。针对抛光液为具有剪切增稠效应的流体,利用软件对该类液体的液浮法抛光技术模型进行流场分析,得到液浮抛光模型的流场压强、剪切力分布情况。仿真结果表明,液浮抛光技术对被加工件表面具有一定的剪切效果,可以实现对工件材料的去除。搭建实验平台,设计一组实验,其中配置以粒径12nm的二氧化硅为溶质,分子量200的聚乙二醇为溶剂的非牛顿幂律流体作为抛光液的剪切增稠基液(其中二氧化硅质量分数为9%),加入质量分数为18%的氧化铈作为磨料的抛光液,对于初始粗糙度为23.97nm的K9玻璃经过90min的抛光,其粗糙度可达到1.023nm,实验结果表明,该技术可用于光学元件的抛光加工。

主 题 词：光学元件加工 液浮抛光技术 剪切增稠 fluent流场分析 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 080103[080103] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 080201[080201] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.5768/JAO201940.0201007

馆 藏 号：203572387...