FBAR板上测试技术综述

作     者：许夏茜 高杨 刘婷婷 XU Xiaxi;GAO Yang;LIU Tingting

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 

基　　金：国家自然科学基金(61574131) 四川省教育厅资助科研项目(17ZA0402) 西南科技大学博士研究基金(15zx7156) 

出 版 物：《中国测试》 (China Measurement & Test)

年 卷 期：2019年第45卷第2期

页      码：11-15,29页

摘      要：随着对薄膜体声波谐振器(FBAR)器件性能要求的增高,FBAR器件参数的精确测试变得十分关键,该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌入校准这两个FBAR参数测试精度要素考虑,综述FBAR板上测试技术的研究现状,讨论测试夹具结构设计过程中的寄生效应、阻抗匹配以及夹结构设计等问题,并分析去嵌入校准的原理、误差模型以及各校准方法的优缺点。通过降低寄生效应、优化阻抗匹配、改善校准方法、优化误差模型可提高FBAR板上测试的准确性,并以此给出一套板上测试夹具设计及测试流程。

主 题 词：FBAR 测试夹具 校准 S参数 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11857/j.issn.1674-5124.2018100090

馆 藏 号：203572717...