电磁驱动MEMS可调式光衰减器的设计

作     者：赵小林 李文军 周光亚 张明生 蔡炳初 ZHAO Xiao-lin;LI Wen-jun;ZHOU Guang-ya;ZHANG Ming-sheng;CAI Bing-chu

作者机构：上海交通大学信息存储研究中心上海200030 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2000年第4期

页      码：60-67页

摘      要：设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器。这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减。并对该衰减器的插入损耗、光衰减量以及电磁驱动器的性能进行了分析。

主 题 词：微机电系统 可调式光衰减器 电磁驱动 插入损耗 衰减量 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

馆 藏 号：203573037...