离子束溅射技术制备高性能光通信带通滤光膜的研究

作     者：石澎 张功 张于帅 王丽荣 Shi Peng;Zhang Gong;Zhang Yushuai;Wang Lirong

作者机构：中山火炬职业技术学院中山528436 长春理工大学光电工程学院长春130022 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX) 广东省中山市科技局项目(2016B2182) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2019年第39卷第2期

页      码：136-139页

摘      要：光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式。光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高性能的带通滤光膜进行了研制。采用离子束溅射技术,以Ta_2O_5和SiO_2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题。制备的带通滤光膜在1528～1571 nm处插入损耗小于0.2 dB,1470～1521 nm和1578～1651 nm处透射隔离度大于40 dB,满足实际使用要求。

主 题 词：薄膜 带通滤光膜 谐振腔 耦合层 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.02.08

馆 藏 号：203573057...