实时光学薄膜膜厚监控系统研究

作     者：刘雄英 黄光周 于继荣 Liu Xiongying;Huang Guangzhou;Yu Jirong

作者机构：华南理工大学电子与信息学院 

基　　金：广东省重点科技攻关课题(No.2KB02402G) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2005年第25卷第4期

页      码：306-308,311页

摘      要：在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。

主 题 词：光学薄膜 膜厚监控 极值点判断 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2005.04.018

馆 藏 号：203578118...