电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用

作     者：任建华 钱省三 许圣良 Ren-Jianhua;Qian-Xingsan;Xu-Shengliang

作者机构：上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心上海200093 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2006年第31卷第7期

页      码：485-488页

摘      要：半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的。本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析,总结出一些改进方法。通过在某半导体晶圆厂的实际应用,该产能规划模型有效地解决了投料不均,设备负荷率波动过大等问题。

主 题 词：产能规划 半导体 晶圆制造 电子表格模型 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2006.07.002

馆 藏 号：203578327...