微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究

作     者：陈光红 吴清鑫 于映 罗仲梓 

作者机构：苏州市职业大学江苏苏州215104 福州大学福州350002 厦门大学萨本栋微机电研究中心福建厦门361005 

基　　金：国家基金青年基金(60301006) 福建省自然科学基金(A0310012) 国家留学基金项目资助 

出 版 物：《中国仪器仪表》 (China Instrumentation)

年 卷 期：2007年第5期

页      码：49-51页

摘      要：主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。

主 题 词：薄膜 力学性能 微旋转结构法 MEMS 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2852.2007.05.009

馆 藏 号：203578588...