硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究

作     者：赵江铭 陈晓阳 刘武发 杨杰伟 王小静 ZHAO Jiang-ming;CHEN Xiao-yang;LIU Wu-fa;YANG Jie-wei;WANG Xiao-jing

作者机构：郑州大学机械工程学院郑州450001 上海大学机电工程与自动化学院上海200072 

基　　金：973子项目资助(G1999033109) 上海市科委启明星项目资助(03QF14019) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第3期

页      码：428-430页

摘      要：设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证。结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好。

主 题 词：静电微谐振器 品质因子 振幅电压比 试验研究 半经验公式 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.015

馆 藏 号：203578896...