MEMS可靠性技术

作     者：冯亚林 李莉 李霁红 郝一龙 

作者机构：北京大学微电子所北京100871 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2002年第39卷第3期

页      码：29-32页

摘      要：MEMS的可靠性是其能否成功应用的一个关键。本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析,通过对MEMS的可靠性实验与失效模型的综述,对MEMS的可靠性设计进行了探讨。

主 题 词：MEMS 可靠性 失效模型 测试 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2002.03.008

馆 藏 号：203581781...