电容传感器线性度标定平台

作     者：张德福 葛川 李显凌 倪明阳 郭抗 ZHANG De-fu;GE Chuan;LI Xian-ling;NI Ming-yang;GUO Kang

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61504142) 国家科技重大专项基金资助项目(No.2009ZX02205) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2016年第24卷第1期

页      码：143-151页

摘      要：设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现了微位移调节,基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程。试验测得动平台行程为735.162μm,和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410%和4.633%,满足行程误差要求。经过标定补偿后,传感器的线性度由0.014 21%提高至0.006 231%。实验结果显示,该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求。

主 题 词：电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20162401.0143

馆 藏 号：203582432...