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非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计

非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计

作     者:李冬梅 赵玉清 赵华森 时立峰 

作者机构:西安交通大学电子科学与技术系陕西西安710049 

出 版 物:《真空》 (Vacuum)

年 卷 期:2003年第40卷第5期

页      码:19-23页

摘      要:结合非晶金刚石离子镀膜机的工艺特点和要求 ,本文介绍了一种成功应用的分布式控制系统的设计 ,重点讨论了控制系统的硬件配置、软件设计。

主 题 词:非晶金刚石离子镀膜机 自动化控制系统 设计 阴极真空等离子电弧技术 FCVA 

学科分类:080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D O I:10.3969/j.issn.1002-0322.2003.05.005

馆 藏 号:203582897...

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