引信用高g加速度计研究

作     者：何洪涛 杨拥军 徐永青 吝海锋 

作者机构：电子第13所微米/纳米中心河北石家庄050051 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2002年第39卷第6期

页      码：28-31页

摘      要：高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够实现高g环境下的加速度测量,满足了用户的要求。基于有限元模拟和经验数值结合的办法,在大量程和灵敏度之间综合考虑,确定了高g的设计思路,并采用硅溶片工艺制备了满足设计要求的MEMS加速度计。

主 题 词：引信 高g加速度计 悬臂梁 电容式加速度计 微电子机械系统 

学科分类：082601[082601] 08[工学] 0826[工学-生物医学工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2002.06.006

馆 藏 号：203586257...