MEMS的研究现状及其进展

作     者：马强 李文石 朱臻 

作者机构：苏州大学电子信息学院微电子学系 

出 版 物：《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期：2004年第13卷第10期

页      码：57-61,21页

摘      要：本文从MEMS有关的材料、加工工艺、设计方法、仿真模拟、封装和可靠性等方面,阐释MEMS的研究现状,概论MEMS相关技术的发展趋势。

主 题 词：MEMS 器件 微机电系统 封装技术 参数提取 综合工具 电子数据表格 研究现状 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1681-5289.2004.10.018

馆 藏 号：203587112...